Здравствуйте. Предлагаем следующую литературу для работы над темой (источники – ЭК РНБ, ЭК НТЛ ВИНИТИ, ИПС Google, НЭБ eLibrary):
1. Бобков С. Г. Проблемы перехода микроэлектроники в субстананометровую область размеров. Ч. 1. Общие положения и возможности литографических и нелитографических методов формирования топологии / С. Г. Бобков, В. Ю. Киреев // Нано- и микросистем. техника. – 2007. – № 5. – C. 11-21.
2. Гайнуллина Н. Р. Повышение качества радиоэлектронных средств за счет использования новых литографических методов // Вестн. КГТУ им. А. Н. Туполева. – 2013. – № 2, ч. 2. – С. 126-129. – Библиогр.: 8 назв.
3. Два режима создания трехмерных субмикронных структур методом лазерной литографии / И. И. Шишкин, К. Б. Самусев, М. В. Рыбин и др. // Физ. твердого тела. – 2014. – Т. 56, № 11. – С. 2097-2103. – Библиогр.: 13 назв.
4. Закиев Р. И. Формирование наноструктур методом электронной литографии // Электрон. приборостроение. – 2008. – № 2. – С. 83-86.
5. Ивашов Е. Н. Формирование нанообъектов литографическим методом / Е. Н. Ивашов, М. Ю. Корпачев, П. С. Костомаров // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. INTERMATIC – 2010 : сб. материалов Междунар. науч.-практ. конф. – М., 2010. – Ч. 2. – С. 232-233. – Библиогр.: 3 назв. Шифр РНБ: 2011-8/2486.
6. Концептуализация проблемного поля современной литографии при переходе к проектным нормам 45-22 нм. / Г. Я. Красников, О. П. Гущин, И. В. Матюшкин и др. // Наноинженерия. – 2014. – № 12. – С. 8-19. – Библиогр.: 37 назв.
7. Макарчук В. В. Методы литографии в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; под ред. В. А. Шахнова. – М. : Изд-во МГТУ, 2011. – 175 с. : ил. – Библиогр.: 10 назв. Шифр РНБ: 2011-5/7524.
8. Старостин В. В. Материалы и методы нанотехнологий : учеб. пособие / В. В. Старостин. – 2-е изд. – М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010. – 431 с. : ил., табл. – (Нанотехнология). – Библиогр.: 41 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://files.lbz.ru/pdf/cC1444-7-ch.pdf (18.03.2016).
9. Формирование наноразмерных элементов затворов СВЧ-транзисторов методом ионнолучевой литографии / К. К. Лаврентьев, В. К. Неволин, Р. Ю. Розанов и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 6. – С. 591-597.
Рекомендуем также ознакомиться с ответами на запросы № 27852, № 28563, № 28581 в архиве Виртуальной справочной службы РНБ.
За дополнительной консультацией Вы можете обратиться к дежурному библиографу группы техники (Московский пр. д.165, 4 этаж).