Здравствуйте. Предлагаем следующие издания (источники ЭК РНБ, БД НТЛ ВИНИТИ,e-Library,ПС Google) для начала работы над темой. Рекомендуем ознакомиться с ответом на запрос № 28480.
1. Грибкова Е. С. Исследование особенностей распространения акустических волн для создания твердотельных датчиков движения : автореф. дис. ... канд. техн. наук / Грибкова Е. С. ; СПбГЭТУ "ЛЭТИ". – СПб, 2012. – 18 с.: ил. – Библиогр.: 14 назв. Шифр РНБ: 2012-А/22791 ; На сайте РНБ (ЭК РНБ) возможен просмотр автореферата онлайн.
2. Моделирование тонкопленочных структур при построении микроакселерометра на поверхностных акустических волнах / Д. П. Лукьянов, С. Ю. Шевченко, Е. П. Филиппова и др. // Изв. СПбГЭТУ "ЛЭТИ". – 2012. – № 8. – С. 84-91. – Библиогр.: 5 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://eltech.ru/assets/files/university/izdatelstvo/izvestiya-spbgetu-leti/2012-08.pdf#page=84 (19.02.16)
3. Особенности проектирования и изготовления чувствительного элемента микромеханического акселерометра на КНИ-структурах / С. П. Тимошенков, С. А. Анчутин, В. Г. Рубчиц и др. // Нано- и микросистем. техника. – 2014. – № 7. – C. 10-14. Шифр РНБ: П11/4358 ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.microsystems.ru/files/full/mc201407.pdf (19.02.16)
4. Пащенко В. П. Пьезоэлектрические тонкие пленки: свойства и применение в акустоэлектронике // Вопр. радиоэлектроники. сер. Общетехническая. – 2013. – № 1. – C. 183-197. Шифр РНБ: П10/7449
5. Пивоненков Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистем. техника. – 2010. – № 11. – С. 43-47. Шифр РНБ: П11/4358. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.microsystems.ru/files/full/mc201011.pdf (19.02.16)
6. Разработка и исследование микроакселерометра на поверхностных акустических волнах / Д. П. Лукьянов, Ю. В. Филатов, С. Ю. Шевченко и др. // 11 Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам / ЦНИИ "Электроприбор". – СПб., 2004. – С. 181-188. – Библиогр.: 7 назв. Шифр РНБ: 2004-8/2110
7. Чередник В. И. Численный расчет параметров поверхностных и псевдоповерхностных акустических волн в многослойных структурах // ЖТФ. – 2003. – Т. 73, № 10. – С. 106-112. – Библиогр.: 8 назв. Шифр РНБ:П7/1
8. Шакин О. Проектирование пьезопреобразователей акустооптических устройств / О. В. Шакин, А. С. Бугаёв, Р. А. Хансуваров // Успехи соврем. радиоэлектроники. – 2013. – № 2. – С. 148-151. Шифр РНБ: П11/653
9. Янчич В. В. Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры). – Ростов н/Д. : Юж. федерал. ун-т, 2010. – 304 с.: ил. – Библиогр.: 239 назв. – (Пьезоэлектрическое приборостроение ; т. 7). Шифр РНБ: 2012-3/463
10. A digital output accelerometer using MEMS-based piezoelectric accelerometers and arrayed CMOS inverters with satellite capacitors / T. Kobayashi, H. Okada, T. Masuda // Smart Mater. a. Struct. – 2011. – Vol. 20, N 6. – P. 65017.
11. Amarasinghe R. Design and fabrication of miniaturized six-degree of freedom piezoresistive accelerometer // MEMS 2005: 18th IEEE International Conference on microelectromechanical systems. – Р.351-354. ; Id. [Electronic resource]. – URL: (открыть ссылку) (19.02.16)
12. AlN, ZnO thin films and AlN/ZnO or ZnO/AlN multilayer structures deposited by PLD for surface acoustic wave applications / P. Dutheil, J.-C. Orlianges, A. Crunteanu, et al. // Phys. status solidi. Ser. A. – 2015. – Vol. 212, N 4. – P. 817-825. – Bibliogr.: 41 ref.
13. El Gowini Mohamed M. Evaluating the adhesion of SU-8 thin films using an AlN/Si surface acoustic wave sensor / Mohamed M. El Gowini, A. Moussa Walied // J. micromech. a. microeng. – 2015. – Vol. 25, N 3. – P. 035031.
Для самостоятельного просмотра рекомендуем журналы:
Датчики и системы (открыть ссылку)
Нано-и микросистемная техника (открыть ссылку).