Здравствуйте! Ваш запрос требует углубленной проработки, что в рамках ВСС не представляется возможным. Предлагаем выборочный список литературы (источники – ЭК РНБ, Каталог НТЛ ВИНИТИ, Научная электронная библиотека E-LIBRARY, поисковая система Google Академия):
1. Анализ современного состояния и перспектив развития приборов звездной ориентации семейства БОКЗ / Г. А. Аванесов, Р. В. Бессонов, А. А. Форш, М. И. Куделин // Изв. вузов. Приборостроение. – 2015. – Т. 58, № 1. – С. 3-13.
Обоснование целесообразности включения в состав звездных приборов ориентации трехосных датчиков угловой скорости на основе технологий МЭМС.
2. Бекмачев А. Инерциальные МЭМС-датчики и модули европейских производителей. Обзор новинок // Электроника: Наука, технология, бизнес. – 2014. – № 2. – С. 38-49.
3. Волков В. Л. Обработка информации в системе ориентации на основе МЭМС / В.Л. Волков, Н.В. Жидкова // Тр. Нижегор. гос. техн. ун-та. – 2015. – № 3. – С. 279-286. – Библиогр. : 10 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.nntu.ru/trudy/2015/03/279-286.pdf (21.12.15)
4. Вопросы разработки инерциальных пешеходных навигационных систем на основе МЭМС-датчиков / П. С. Маринушкин, В. А. Бахтина, И. А. Подшивалов, О. В. Стукач // Наука и образование : [сетевое науч. изд.]. – 2015. – № 6. – С. 157-173. – URL: http://rus.neicon.ru:8080/xmlui/bitstream/handle/123456789/17610/SE-BMSTU_Jun2015_157to173.pdf?sequence=1 (21.12.15)
5. Голощапов А. Применение МЭМС-технологии в навигации // Компоненты и технологии. – 2014. – № 4. – С. 65-69.
6. Состояние и перспективы создания полупроводниковых микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / В. А. Васильев, С. А. Москалев, И. В. Ползунов, В. А. Шокоров // Метрология. – 2014. – № 11. – С. 15-24.
7. Сторожев В. В. Системотехника и мехатроника технологических машин и оборудования / В. В. Сторожев, Н. А. Феоктистов. – М. : Издательско-торговая корпорация "Дашков и К°", 2015. – 412 с. : ил. – Библиогр. : 94 назв. Шифр РНБ: 2014-5/8329
8. Куликов К. В. Микроэлектромеханические устройства систем связи : учеб. пособие / К. В. Куликов, В. Н. Ланцов ; Владимир. гос. ун-т. – Владимир : Изд-во ВлГУ, 2014. – 93 с. : ил. – Библиогр.: 22 назв. Шифр РНБ: 2014-4/10412
9. Международный форум "МЭМС сегодня и завтра" // Электрон. компоненты. – 2014. – № 7. – С. 10-11.
10. Парфенов Н. М. Исследование и разработка интегральных МЭМС-преобразователей механических величин / Н. М. Парфенов, С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков // Нано- и микросистем. техн. – 2015. – № 5. – С. 49-54.
11. Петропавловский Ю. Эволюция МЭМС-продуктов компании Аnalog Devices и современные инерциальные измерительные модули ISENSOR // Компоненты и технологии. – 2015. – № 5. – С. 24-30. – Библиогр.: 8 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://elibrary.ru/download/93786904.pdf (21.12.15). – Доступ к полному тексту статьи при условии регистрации.
12. Полупроводниковые микроэлектромеханические системы современных и перспективных датчиков давления / В. А. Васильев, С. А. Москалев, И. В. Ползунов, В. А. Шокоров // Нано- и микросистем. техника. – 2014. – № 11. – С. 37-43.
13. Проектирование микроэлектромеханических систем и разработка вычислительных технологий в рамках проекта PRECISE / П. А. Широков, А. Е. Новиков, Г. Ф. Реш и др. // Полет. – 2015. – № 5. – С. 50-57. – Библиогр. : 10 назв.
Результаты научно-технических работ в области микроэлектромеханических и нанотехнологий, выполненных участниками созданного международного консорциума по проекту PRECISE (www.mcps-precise.com) в рамках седьмой Рамочной программы Европейского Союза (FP7/2007-2013).
14. Узлы и компоненты микроэлектронных датчиков / К. А. Ожикенов, П. Г.
Михайлов, А. О. Касимов, А. У. Аналиева // Изв. ЮФУ. Техн. науки. – 2015. – № 3. – С. 184-192. – Библиогр.: 25 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://cyberleninka.ru/article/n/uzly-i-komponenty-mikroelektronnyh-datchikov (21.12.15)
15. Урманов Д. М. Концепция развития производства МЭМС-изделий в России на период до 2017 г. // Датчики и системы. –¬ 2012. – № 9. – С. 65-70.
Подбор литературы по определенной тематике Вы можете заказать в Информационно-сервисном центре РНБ (открыть ссылку). Услуги предоставляются на платной основе.