Здравствуйте. Предлагаем следующие источники по Вашей теме ( ЭК РНБ, ПС Google, БД НТЛ ВИНИТИ).
1. Варадан В. ВЧ МЭМС и их применение / В. Варадан, К. Виной, К. Джозе ; пер. с англ. под ред. Ю. А. Заболотной. – М. : Техносфера, 2004. – 525 с. : ил. – Библиогр. в конце глав. – Предм. указ.: с. 524-525. – (Мир электроники).
2. Гридчин В. А. Физика микросистем : учеб. пособие / В. А. Гридчин, И. Г. Неизвестный, В. Н. Шумский. – Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2006.
Ч. 2. Термические сенсоры, сенсоры оптического и инфракрасного излучения. – 2006. – 495 с. : ил. – Библиогр. в конце гл.
3. Данилин Н. С. Инновационные космические микросистемы в корпусе : 50-летию первого полета человека в космос посвящается / Н. С. Данилин, Д. М. Димитров, И. Х. Сабиров. – М. : Спектр, 2011. – 71 с. : ил. – Библиогр.: 11 назв.
4. Зимина Т. М. Микро-и наноаналитические системы // Нано- и микросистем. техника. – 2007. – № 8. – С. 27-49.
5. Зимина Т. Миниатюрные аналитические платформы: ожидания, реальность и перспективы
Т. Зимина, В. Лучинин // Наноиндустрия. – 2010. – № 5. – С. 80-89. – 15 назв.
6. Корляков А. В. Перспективная элементная база микросистемной техники / А. В. Корляков, В. В. Лучинин // Нано-и микросистем. техника. – 1999. – № 1. – С. 12-15 – Библиогр.: 5 назв.
7. Лучинин В. В. Микросистемная техника. Прикладные области применения : учеб.-метод. разраб. / В. В. Лучинин, Ю. И. Степанов, В. А. Телец. – М. : МГИРЭА, 2004. – 100 с. : ил. – Библиогр.: 20 назв.
8. Лучинин В. В. Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем
/ В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров, А. А. Васильев // Нано-и микросистем. техника. – 1999. – № 1. – С. 7-11. – Библиогр.: 6 назв
9. Нано – и микросистемная техника : от исследований к разработкам : сб. ст. / под ред. П. П. Мальцева. – М. : Техносфера, 2005. – 589 с. : ил. – Библиогр. в конце разд. – (Мир электроники).
10. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке / Д. М. Климов, А. А. Васильев, В. В.Лучинин, П. П. Мальцев // Нано- и микросистем. техника. – 1999. – № 1. – С. 3-6. – Библиогр.: 3 назв.
11. Пешехонов В. Г. Микромеханические инерциальные преобразователи. Современное состояние и применение в военной технике / В. Г. Пешехонов, Л. П. Несенюк, Д. Г. Грязин // Мехатроника, автоматизация, упр. – 2009. – № 3. – С. 28-32.
12. Резнев, А. А. Тенденции развития МЭМС / А. А. Резнев, В. Д. Вернер. – М. : Амиант, 2010. – 273 с. :ил. – Библиогр.: с. 268-272.
13. Попков Ю. С. Элементы теории микросистем и ее приложения. – М. : ВИНИТИ, 1985. – 79 с. : ил. – Библиогр.: с. 70-75. – (Препринт / ВНИИ систем. исслед.)
Вы можете расширить список, воспользовавшись ЭК РНБ . В "Профессиональной" форме в поисковое окно вводите: микросистем* и из найденных источников (125) отбираете необходимые (для заказа на Моск. пр. д. 165).
Для самостоятельной работы по поиску электронных источников рекомендуем Вам электронный архив журнала «Нано- и микросистемная техника» (открыть ссылку) и периодические издания раздела «Электроника» Путеводителя по полнотекстовым и аннотированным электронным ресурсам в сети Интернет: Естественнонаучные и технические дисциплины (открыть ссылку).