Предлагаем краткий список литературы по Вашей теме (Источник – ЭК РНБ):
1. Solid thin films and layers. – XXIV, 611 с. Шифр РНБ: Ик 2003-8/105
2. Functional thin films and functional materials : New concepts a. technologies / Donglu Shi (ed.). – Berlin etc. : Springer; [Beijing] : Tsinghua univ. press, cop. 2003. – 443 с. – (Springer series in materials science, 0933- 033X; 58). – (Physics and astronomy online library). Шифр РНБ: Ик 2004-7/1363
3. Protective coatings and thin films-01 : Proc. of E-MRS Spring meet. 2001, June 5-8, 2001 / Symp. C [held in Strasbourg, France]; Ed. a. symp. organizers: Herwig Bangert et al. – [Repr.]. – Amsterdam etc. : Elsevier,2002. – 539 с. – (European materials research society symposia proceedings; Vol. 109). – Библиогр. в конце докл. Шифр РНБ: P2/600
4. Handbook of thin-film deposition processes and techniques : Principles, methods, equipment a. applications. – 2nd ed. – Norwich (N.Y.) : Noyes : Andrew, cop. 2002. – 629 с. Шифр РНБ: Є 2002-7/935
5. Biennial conference on insulating films on semiconductors(2001; Udine}. 12th Bi-annual conference on insulating films on semiconductors (INFOS 2001), June 20-22, 2001, Udine, Italy / Guest ed. E. Sangiorgi. – Kidlington, Oxford : Pergamon, 2002. – 1669-2017 с. – (Solid-state electronics, 0038-1101; Vol.46, N 11). Шифр РНБ: P10/1080
6. Разрушение тонких полимерных пленок и волокон: Учеб. пособие. – М.: Химия, 1997. – 343 с. Шифр РНБ: 97-5/1245
7. Нефедов В.Г. Физико-химические основы микроэлектроники: Свойства тонких пленок: Учеб. пособие. – СПб.: СПбГААП, 1993. – 50 с. Шифр РНБ: 94-4/9036
Подбор литературы по определенной тематике Вы можете заказать в Информационно-Сервисном Центре РНБ (открыть ссылку). Услуги предоставляются на платной основе.