Здравствуйте. Предлагаем следующую литературу для работы над темой (источники – ЭК РНБ, ЭК НТЛ ВИНИТИ, ИПС Google, НЭБ eLibrary):
1. Влияние пор и нанослоев на изгибную жесткость подвеса кремниевого чувствительного элемента МЭМС / С. П. Тимошенков, С. А. Зотов, В. В. Калугин и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2006. – № 7. – С.11-16.
2. Влияние толщины пленки электроактивного полимера на его электрофизические характеристики / Ю. А. Гороховатский, Д. Д. Карамов, Ю. Ж. Мусралиева и др. // Изв. Рос. гос. пед. ун-та им. А. И. Герцена. – 2013. – № 157. – С. 60-69.
3. Лавров П. П. Получение бездефектных сегнетоэлектрических пленок ЦТС золь-гель методом для устройств МЭМС // Фундаментальные пробл. радиоэлектронного приборостроения. – 2013. – Т. 13, № 2. – С. 165-168.
4. Макарик А. Ю. Рецепторные слои алкоксисиланов как основа микромеханических сенсоров / А. Ю. Макарик, А. А. Кудринский, Г. В. Лисичкин // Химия поверхности и нанотехнология : тез. докл. Всерос. конф. – СПб., 2012. – С. 225. Шифр РНБ: 2013-8/684.
5. Методика проектирования микромеханических компонентов на основе библиотеки микрофрагментов / И. Е. Лысенко, О. А. Ежова, И. В. Куликова и др. // Изв. ЮФУ. Техн. науки. – 2014. – № 9. – С. 201-205. – Библиогр.: 8 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://izv-tn.tti.sfedu.ru/wp-content/uploads/2014/9/24.pdf (30.04.2016).
6. Микродвижители для микроробототехники / В. Е. Калёнов, А. П. Бройко, А. В. Корляков и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 12. – С. 41-46. – Библиогр.: 18 назв.
7. Микромеханические актюаторы на основе электроактивных полимеров для микроробототехнических систем / В.Е. Калёнов, А.П. Бройко, А.В. Корляков и др. // Гибкая электроника : сб. тр. Всерос. науч.-техн. конф. – СПб., 2014. – С. 35-36. – Библиогр.: 2 назв.
8. Новожилов А. Тактильные датчики на полимерных материалах: конструкции, технологии / А. Новожилов, В. Ракитин, А. Сафонов // Электроника: наука, технология, бизнес. – 2014. – № 2. – С. 52-64.
9. Объемный дизайн рецепторного слоя микромеханических сенсоров с использованием наночастиц серебра / А. Ю. Макарик, А. А. Тепанов, Д. В. Колесов и др. // Рос. нанотехнологии. – 2015. – Т. 10, № 7/8. – С. 35-41.
10. Пьезокварцевые сенсоры на основе полимеров с молекулярными отпечатками – формирование распознающего слоя на поверхности электрода сенсора / Т. Н. Ермолаева, В. Н. Чернышова, Е. В. Чеснокова и др. // Сорбционные и хроматогр. процессы. – 2015. – Т. 15, № 2. – С. 151-167.
11. Резнев А. А. Тенденции развития МЭМС / А. А. Резнев, В. Д. Вернер. – М. : Амиант, 2010. – 274 с. : ил. – Библиогр. с.: 268-271. Шифр РНБ: 2010-5/9898.
12. Салихов Р. Б. Полимерная электроника // Актуальные вопросы университетской науки : сб. науч. тр. – Уфа, 2016. – С. 198-203.
13. Устинов В. Ф. Разработка модели и исследование динамики микромеханического сенсорного устройства с электростатическим накатом упругих лепестков на сегнетоэлектрическую пленку / В. Ф. Устинов, А. С. Степанов // Вестн. МЭИ. – 2013. – № 3. – C. 20-26.
14. Фундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий (ФОМН'15) : докл. V Всерос. конф. – Новосибирск, 2015. –
Вып. 5, т. 1. – 276 с. : ил. – Библиогр. в конце докл.
Вып. 5, т. 2. – 180 с. : ил. – Библиогр. в конце докл. Шифр РНБ: 2010-3/18470.
15. Электрохимический синтез нанокомпозитных материалов для сенсоров на основе электроактивных полимеров / Б. И. Байрачный, Л. В. Ляшок, И. А. Афонина и др. // Укр. хим. журн. – 2010. – Т. 76, № 9/10. – C. 106-109.
Рекомендуем провести самостоятельный поиск статей в архиве журнала “Нано- и микросистемная техника” (открыть ссылку) и ознакомиться с ответом на запрос № 27626 в архиве ВСС РНБ.
За дополнительной консультацией Вы можете обратиться к дежурному библиографу группы техники (Московский пр. д.165, 4 этаж).