Здравствуйте. Предлагаем следующие издания (источники ЭК РНБ, БД НТЛ ВИНИТИ,e-Library,ПС Google) для начала работы над темой.
1. Аверин И. А. Особенности формирования микроэлектромеханических элементов первичных преобразователей информации / И. А. Аверин, В. Е. Пауткин // Изв. вузов. Поволж. регион. Техн. науки. – 2014. – № 2. – С. 24-32. : ил. – Библиогр.: 13 назв. – (Электроника, измерительная техника и радиотехника). Шифр РНБ: П11/5421
2. Бойко А. Микромеханические акселерометры : моделирование элементов конструкции и изготовление / А. Бойко, А. Заводян, Б. Симонов // Электроника : наука, технология, бизнес. – 2009. – № 8. – С. 100-103. – Библиогр.: 8 назв. – (Системы проектирования). Шифр РНБ: П11/3931
3. Буданова А. Ю. Анализ современной патентной литературы по микромеханическим акселерометрам / А. Ю. Буданова, В. А. Крылов // Науч.-техн. вестн. СПбГУ ИТМО. – 2008. – № 51. – С. 63-70. Шифр РНБ: П29/1070
4. Двоешерстов М. Ю. Акселерометр на поверхностных акустических волнах / М. Ю. Двоешерстов, С. И. Босов, И. Я. Орлов // Датчики и системы. – 2011. – №12 (151). – С. 10-14 : ил. – Библиогр.: 8 назв. Шифр РНБ:
5. Доберштейн С. А. Достижения современной микроакустики: техника ПАВ и ОАВ в РЭА. Влияние МЭМС-технологий на РЭА / С. А. Доберштейн, И. В. Гончаров // Успехи соврем. радиоэлектроники. – 2011. – № 11. – С. 71-78. Шифр РНБ: П11/653
6. Лихошерст В. В. Расчет параметров и характеристик микромеханических акселерометров // Изв. вузов. Приборостроение. – 2006. – Т. 49, № 6. – С. 66-71. – Библиогр.: 2 назв. – (Микросистемная авионика). Шифр РНБ: П11/1514
7. Лукьянов Д. П. Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах /Д. П. Лукьянов, В. В. Лучинин, В. Ю. Скворцов // Нано- и микросистем. техника. – 2001. – № 2. – С. 3-7: ил. – Библиогр.: 7 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.microsystems.ru/files/publ/128.htm (11.02.16)
8. Особенности проектирования и изготовления чувствительного элемента микромеханического акселерометра / С. А. Зотов, В. В. Калугин, С. П. Тимошенков и др. // Приборы и системы: Упр., контроль, диагностика. – 2008. – № 5. – C. 35-37. Шифр РНБ: П11/1122
9. Пауткин В. Е. Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров : автореф. дис. … канд. техн. наук / Пауткин В. Е. ; С.-Петерб. гос. ун-т аэрокосмич. приборостроения. – СПб., 2015. – 23 с.: ил. – Библиогр.: 28 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://fs.guap.ru/dissov/pautkin_ve/autoref.pdf (11.02.16)
10. Применение кварцевого корпусирования для упаковки микромеханических акселерометров на поверхностных акустических волнах / Д. П. Лукьянов, С. Ю. Шевченко, Е. П. Филиппова и др. // Изв. СПбГЭТУ (ЛЭТИ). – 2014. – № 4. – С. 53-57. Шифр РНБ: П11/5608
11. Структура и свойства нанокристаллических пленок LiNbO3 / В. М. Иевлев, Н. В. Сидоров, М. Н. Палатников и др. // Конденсированные среды и межфаз. границы. – 2009. – Т. 11, № 3. – С. 221-229: ил. – Библиогр.: 29 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.kcmf.vsu.ru/resources/t_11_3_2009_008.pdf (11.02.16)
12. Dielectric losses and ac conductivity of Si-LiNbO3 heterostructures grown by the RF magnetron sputtering method / V. Ievlev, M. Sumets, A. Kostyuchenko, N. Bezryadin // J. Mater. Sci.: Mater. Electron. – 2013. – Vol. 24, N 5. – P. 1651-1657. – Bibliogr.: 16 ref. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://link.springer.com/article/10.1007/s10854-012-0990-4#/page-1 (11.02.16)
13. Guerra-Pulido Jaime Actavio. Relationship between acceleration and the scattering matrix in a SAW-MEMS accelerometer / Jaime Actavio Guerra-Pulido, Pablo Roberto Pérez-Alcázar // IEEE Trans. Ultrason., Ferroelec. a. Freq. Contr. – 2011. – Vol. 58, N 7. – P. 1460-1467. – Bibliogr.: 29 ref. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=5954001 (11.02.16)