Каталог выполненных запросов

Здравствуйте. Предлагаем список литературы для начала работы над Вашей темой (источник – ЭК РНБ):
1. Авилов Р. И. Применение символьных и графических жидкокристаллических индикаторов : [справ. пособие] / Р. И. Авилов, А. С. Баширов. – М. : НИИ шк. технологий, 2006. – 171 с. – (Электронные компоненты). – Библиогр.: с. 167. Шифр РНБ 2008-3/7471
2. Бестаев М. В. Современные полупроводниковые и жидкокристаллические устройства отображения информации : учеб. пособие / М. В. Бестаев, С. Ю. Ильин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ, Сев.-Осет. гос. ун-т им. К. Л. Хетагурова. – Владикавказ : Изд-во Сев.-Осет. гос. ун-та, 2000. – 55 с. – Библиогр.: с. 54. Шифр РНБ 2000-4/7772
3. Бородин В. И. Основы физики газоразрядных и жидкокристаллических средств отображения информации : учеб. пособие / В. И. Бородин ; М-во образования РФ, Петрозавод. гос. ун-т. – Петрозаводск : ПетрГУ, 2001. – 159 с. – Библиогр.: с. 157. Шифр РНБ 2003-3/1443
4. Зиняков Е. Я. Жидкокристаллические и газоразрядные индикаторы, технология и оборудование для их производства / М-во электронной пром-сти СССР. – М. : Б. и., 1977. – 29 с. – (Обзоры по электронной технике. Сер.: Технология, организация производства и оборудование). – Библиогр.: с. 28-29. Шифр РНБ П51/94
5. Зихла Ф. ЖКИ, светоизлучающие и лазерные диоды: схемы и готовые решения / Франк Зихла. – СПб. : БВХ-Петербург, 2012. – XV, 317 c. Шифр РНБ 2012-7/2535
6. Знакосинтезирующая электроника: материалы, технология, экология : учеб. пособие. Ч. 1. Жидкокристаллические индикаторы на твист-эффекте. – 1991. – 36 с. – Библиогр.: с. 35. Шифр РНБ 91-4/1136
7. Микушин А. В., Цифровые устройства и микропроцессоры : учеб. пособие / А. В. Микушин, А. М. Сажнев, В. И. Сединин. – СПб. : БХВ-Петербург, 2010. – 818 с. – Библиогр.: с. 809-810. Шифр РНБ Т1 З973/М-599 ; 2010-7/2546 ; То же [Электронный ресурс]. – URL: (открыть ссылку) (25.02.2016)
8. Основы оптоэлектроники : учеб. пособие. Ч. 2. Жидкокристаллические и электролюминесцентные индикаторные приборы. – 367 с. – Библиогр.: 6 назв. Шифр РНБ 88-4/24136
9. Патраль А. В. Цифровые индикаторы от А до Я / A. В. Патраль. – СПб. : [б.и.], 2012. – 180 с. – Библиогр.: 36 назв. Шифр РНБ 2013-5/3065
10. Сухариер А. С. Жидкокристаллические индикаторы. – М. : Радио и связь, 1991. – 256 с. – Библиогр.: 273 назв. Шифр РНБ 91-5/1803
11. Труды V Международной конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения" АПЭП-2000. Т. 3. – Новосибирск, 2000. – 229 c. – Библиогр. в конце докл. Шифр РНБ 2001-8/1163

Рекомендуем для самостоятельной проработки журнал «Ремонт и сервис электронной техники»: (открыть ссылку).

Здравствуйте. На Ваш запрос предлагаем следующие издания (источник: ЭК РНБ, БД ВИНИТИ, НТЛ ВИНИТИ, ПС Google, Elibrary):
1. Белорус А. О. Исследование поведения наночастиц порошков пористого кремния методом "растекающейся капли" // Современная наука: теоретический и практический взгляд : сб. ст. Междунар. науч.-практ. конф. – Уфа, 2015. – С. 3-10. – Библиогр.: 14 назв.
2. Долинина Е. С. Кинетические параметры адсорбции лекарственного препарата молсидомин на мезопористых порошках диоксида кремния / Е. С. Долинина, Е. В. Парфенюк // Теоретическая и экспериментальная химия жидкофазных систем (Крестовские чтения) : 7 Всерос. шк.-конф. молодых ученых : тез. докл. – Иваново, 2012 – С. 149-150.
3. Здобнова Т. А. Квантовые точки для молекулярной диагностики опухолей / Т. А. Здобнова, Е. Н. Лебеденко, С. М. Деев //Acta Naturae. – 2011. – Т. 3, № 1. – С. 30-50. – Библиогр.: 109 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://cyberleninka.ru/article/n/kvantovye-tochki-dlya-molekulyarnoy-diagnostiki-opuholey (24.02.2016).
4. Инфракрасная спектроскопия сферических микромезопористых частиц кремнезема на этапах формирования и функционализации / Д. А. Еуров, С. А. Грудинкин, С. А. Курдюковч, В. Г. Голубев // Физика твердого тела. – 2015. – Т. 57, № 10. – С. 2031-2036.
5. Кремнеземные наночастицы с ковалентно привитым флуорофором как супрамолекулярные хеморецепторы с селективным откликом на аналиты / В. А. Сажников, А. М. Музафаров, В. Н. Копысов и др. // Рос. нанотехнологии. – 2012 – Т. 7, № 1/2. – С. 24-30.
6. Нанобиотехнология и наномедицина / Н. В. Медведева, О. М. Ипатова, Ю. Д. Иванов и др. // Биомедицинская химия. – 2006. – Т. 52, № 6. – С. 529-546.
7. Нигмадзянова Н. Р. Получение и исследование порошков на основе пористого кремния для применения в биомедицине // Молодой ученый. – 2015. – № 1. – С. 83-87. – Библиогр.: 24 назв.
8. Румянцев Е. В. Новые наноструктурированные материалы на основе SiO2 и металлохелатов дипирролилметенов / Е. В. Румянцев, Е. В. Антина, Ю. С. Марфин // Наноструктуры в полимерах и полимерные нанокомпозиты : материалы 2 Междунар. науч.-практ. конф. – Нальчик, 2009. – С. 115-116.
9. Синтез и функционализация пористых матриц диоксида кремния / Е. В. Леонова, Е. Ю. Готовцева,Т. И. Изаак и др. // Изв. вузов. Физика. – 2011. – Т. 54, № 9, ч. 2. – С. 58-63.
10. Спивак Ю. М. Получение пористого кремния для применения в адресной доставке лекарств / Ю. М. Спивак, Н. Р. Нигмадзянова // Молодой ученый. – 2014. – №10. – С. 208-212. – Библиогр.: 28 назв.
11. Фотофизические свойства пористого кремния и его применение в технике и биомедицине / Г. Е. Котковский, Ю. А. Кузищин, И. Л. Мартынов и др. // Ядерная физика. – 2013. – Т. 4, № 2. – С. 174-192. – Библиогр.: 100 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: (открыть ссылку) (24.02.2016).
12. Штыков С. Н. Наноматериалы и нанотехнологии в химических и биохимических сенсорах: возможности и области применения / С. Н. Штыков, Т. Ю. Русанова // Рос. хим. журн. – 2008. – Т. 52, № 2. – С. 92-100. – Библиогр.: 111 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.chem.msu.su/rus/journals/jvho/2008-2/92.pdf (24.02.2016).
За дополнительной консультацией Вы можете обратиться к дежурному библиографу группы техники РНБ.

Здравствуйте. Напоминаем Вам, что в рамках Виртуальной справочной службы предлагается выборочный список печатных источников (5-10 названий) и несколько электронных ссылок (без просмотра изданий DE VISU и только по одному вопросу). Также необходимо указать те иностранные языки, на которых требуется информация.
Предлагаем следующие издания (ЭК РНБ, НТЛ ВИНИТИ, ИПС Google, eLibrary) для начала Вашей работы по изучению особенностей использования антиотражающих покрытий в литографии.
1. Бобков С. Г. Проблемы перехода микроэлектроники в субстананометровую область размеров. Часть 2. Возможности наноимпринт литографии и проекционной оптической литографии / С. Г. Бобков, В. Ю. Киреев // Нано- и микросистем. техника. – 2007. – № 6. – С. 8-18.
2. Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии / Веревкин Ю. К., Климов А. Ю., Грибков Б. А. и др. // Квантовая электроника (Россия). – 2008. – Т. 38, № 11. – C. 1078-1082. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.mathnet.ru/links/e7e6b22bc23a8e8e7516cf742a93dce5/qe13723.pdf (24.02.16)
3. Bottom-anti-reflective coatings (BARC) for LPLE double patterning process / Sakamoto Rikimaru, Endo Takafumi, Ho Bang-Ching et al. // Proc. SPIE. – 2010. – Vol. 7639. – Pt. 1/2. – P. 76391R/1-76391R/10. – Bibliogr.: 4 ref. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://sematech.org/meetings/archives/litho/8715/poster/P-04-Sakamoto_NissanChemical.pdf (24.02.16)
4. Broadband antireflective Si nanopillar arrays produced by nanosphere lithography / Hongbo Xu, Nan Lu, Dianpeng Qi et al. // Microelectron. eng. – 2009. – Vol. 86, N 4/6. – P. 850-852. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: https://www.researchgate.net/profile/Lifeng_Chi/publication/229385449_Broadband_antireflective_Si_nanopillar_arrays_produced_by_nanosphere_lithography/links/54b245d70cf2318f0f93f474.pdf (24.02.16)
5. Design and development of production worthy developable BARCs (DBARCs) for implant lithography / J. Cameron, J. Amara, Sung Jin Wuk et al. // Proc. SPIE. – 2010. – Vol. 7639. – Pt 1/2. – P. 6390H/1-76390H/12. – Bibliogr.: 18 ref.
6. Fabrication of antireflection nanostructures by hybrid nano-patterning lithography / Young Hun Kang, Sang Soon Oh, Young-Sung Kim, Choon-Gi Choi // Microelectron. eng. – 2010. – Vol. 87, N 2. – P. 125-128.
7. Fabrication of double-sided self-supporting antireflection-structured film by ultraviolet nanoimprint lithography / Yusof Nurhafizah Binti Abu Talip[a], Taniguchi Jun et al. // Jap. j. appl. phys. – 2014. – Vol. 53, N 6. – P. 06JK03/4-067K03/5. – Bibliogr.: 52 ref.
8. Fabrication of nanosized antireflection patterns on surface of aspheric lens substrate by nanoimprint lithography / Shin Ju-Hyeon, Choi Hak-Jong, Kim Guy-Tae et al. // Appl. phys. express. – 2013. – Vol. 6, N5. – P. 055001/1-055001/3/ – Bibliogr.: 21 ref.
9. Fabrication of size-tunable antireflective nanopillar array using hybrid nano-patterning lithography / Wu Hung-Chun, Xu XueBo, He MeiYing, et al. // Surface a. coat. technol. – 2014. – Vol. 240. – P. 413-418
10. Fabrication of sub-wavelength antireflective structures in solar cells by utilizing modified illumination and defocus techniques in optical lithography / H. L. Chen, K. T. Huang, C. H. Lin et al. // Microelectron. eng. – 2007. – Vol. 84, N 5/8. – P. 750-754.
11. Microfluidic spatial growth of vertically aligned ZnO nanostructures by soft lithography for antireflective patterning / Mehare Rupali S., Devarapalli Rami Reddy, Yenchalwar Sandeep G., Shelke Manjusha V. // Microfluid. a. nanofluid. – 2013. – Vol. 15, N 1. – P. 1-9.
12. Natural lithography nano-sphere texturing as antireflective layer on InP-based pin photodiodes / Chen Baile, Zhou Qiugui, McIntosh D. C. et al. // Electron. lett. – 2012. – Vol. 48, N 21. – P. 1340-1341. – Bibliogr.: 10 ref.
13. Understanding deviations in lithographic patterns near interfaces: Characterization of bottom anti-reflective coatings (BARC) and the BARC-resist interface / J. L. Lenhart, D. Fischer, Sambasivan Sharadha et al. // Appl. surface sci. – 2007. – Vol. 253, N9. – P. 4166-4175.
Составление полного списка литературы для Выпускной квалификационной работы бакалавра Вы можете заказать (на платной основе) в Информационно-сервисном центре РНБ (открыть ссылку) или прийти к библиографу технической литературы РНБ( Московский пр. 165, 4 этаж) на консультацию по самостоятельной работе.

Здравствуйте. На Ваш запрос предлагаем следующие издания (источник: ЭК РНБ, НТЛ ВИНИТИ, ПС Google):
1. Валиев К. А. Физика субмикронной литографии / К. А. Валиев. – М. : Наука, 1990. – 528 с. : ил. – Библиогр. в конце глав. Шифр РНБ: 90-5/5257
2. Lai K. L. Soft imprint lithography using swelling/deswelling characteristics of a polymer mold and a resist induced by a poor solvent / K. L. Lai, I. C. Leu, M. H. Hon // J. micromech. a. microeng. – 2009. – Vol. 19, N 3. – P. 037001/1-037001/5.
3. Mazzeo A. D. Centrifugal casting of microfluidic components with PDMS / A. D. Mazzeo, D. E. Hardt // Trans. ASME. J. micro- a. nano-manuf. – 2013. – Vol. 1, N 2. – С. 021001/1-021001/8. – Bibliogr.: 33 ref.
4. Microlithography, molecular imprinting /with contributions by H. Ito [et al.]. – Berlin [etc.] : Springer, cop. 2005. – VIII, 276 с. : ил. – (Advances in polymer science ; 172 [0065-3195]). – Библиогр. в конце ст.. – Указ.: с. 247-276. Шифр РНБ: Ик 2007-7/3330
5. Simonen J. Applied diffractive optics with electron beam lithography / J. Simonen. – Joensuu : Joensuun yliop., 2003. – VI, 82 c. : ил. – (Dissertations / Univ. of Joensuu. Dep. of physics ; 37 [1458-5332]). – Библиогр.: 112 назв. Шифр РНБ: P7/2853
6. Cтеклянно-полимерные микрофлюидные чипы для электрофоретического разделения биомолекул / А. Л. Буляница, Я. С. Посмитная, Г. Е. Рудницкая и др. // Науч. приборостроение. – 2014. – Т. 24, № 4. – С. 67-76. – Библиогр.: 17 назв. ; То же [Электронный ресурс] URL: http://iairas.ru/mag/2014/full4/Art9.pdf (20.02.2016).
7. Stepanov A. E. Numerical study of radiation of plasma composed of different elements in application to development of EUV light source for lithography /A. E. Stepanov, N. V. Suetin, V. C Roerich. – [М.] : ЦНИИатоминформ, 2003. – 16 с. : ил. – (Препринт ТРИНИТИ / Гос. науч. центр Рос. Федерации Троиц. ин-т инновац. и термоядер. исслед. ; 102-A). – Библиогр.: 19 назв. Шифр РНБ: Ик 2003-4/250
8. Установка для мягкой рентгеновской литографии на ВЭПП-4М / А. Н. Генцелев, Б. Г. Гольденберг, А. Д. Николенко и др. // Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. – 2013. – № 7.— С. 96-102.
9. Химическое паттернирование пленок Ленгмюра-Блоджетт методом мягкой гелевой литографии / А. А. Еленский, Д. С. Турыгин, В. В. Арсланов, М. А. Калинина // Форсайт: наука и технологии в 2025 году. – 2009. – С. 66 -71. – Библиогр.: 29 назв. ; То же [Электронный ресурс] URL: http://www.nanorf.ru/Attachment.aspx?Id=5208&origin=publication_detail#page=68 (20.02.2016).
10. Чабанов А. УФ-наноимпринтная фотолитография с мягкими штампами // Наноиндустрия. – 2010. – № 2. – С. 8-10.
Рекомендуем ответы на запросы Архива: № 27822 (ВСС) и № 24896 (КОРУНБ).
За дополнительной консультацией Вы можете обратиться к дежурному библиографу группы техники, а для работы с подписными иностранными изданиями – в Интернет-класс РНБ.

Здравствуйте! Ваш запрос требует углубленной проработки и просмотра источников de visu,что в рамках ВСС не представляется возможным. Предлагаем выборочный список литературы, большей частью общего характера (источники – ЭК РНБ, Каталог НТЛ ВИНИТИ, поисковая система Google Академия):
1. Богодистова Е. С. Устройства хранения данных на оптических носителях. Технологии, построение, функционирование : учеб. пособие / Е.С. Богодистова. – М. : Моск. гос. ун-т путей сообщения, 2011. – 241 с. : ил. – Библиогр.: 25 назв. Шифр РНБ: 2013-3/1553
2. Вихорев Л. Перспективные технологии производства памяти. Современное состояние // Компоненты и технологии. – 2006. – № 12. – С. 1-8. – Библиогр.: 20 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://cyberleninka.ru/article/n/perspektivnye-tehnologii-proizvodstva-pamyati-sovremennoe-sostoyanie (18.02.16)
3. Воротилов К. А. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства / К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, А.С. Сигов. – М. : Энергоатомиздат, 2011. – 174 с. : ил. – Библиогр.: 188 назв. Шифр РНБ: 2013-5/5311
4. Воротилов К. А. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства: перспективные технологии и материалы / К. А. Воротилов, А. С. Сигов // Нано- и микросистем. техника. – 2008. – № 10. – С. 30-42.
5. Галиханов М.Ф. Полимерные короноэлектреты: традиционные и новые технологии и области применения / М.Ф. Галиханов, Р.Я. Дебердеев // Вестн. Казан. технол. ун-та. –2010. – № 4. – С. 45-57. – Библиогр.: 27 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://cyberleninka.ru/article/n/polimernye-koronoelektrety-traditsionnye-i-novye-tehnologii-i-oblasti-primeneniya (18.02.16)
6. Игнатов А. Н. Микроэлектронные и наноэлектронные устройства коммутации и памяти : монография /А.Н. Игнатов. – Новосибирск : СибГУТИ, 2009. – 155 с. : ил. – Библиогр.: 23 назв. Шифр РНБ: 2009-3/25412
7. Лаврентьев В. В. Применение полимерных пленок для записи и длительного хранения информации / В. В. Лаврентьев, Я. В. Шияневский // Пласт. массы. – 2009. – № 1/2. – С. 55-56паг. 2. – Библиогр.: 3 назв.
8. Мухортов В. М. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение / В.М. Мухортов, Ю.И. Юзик ; Рос. акад. наук, Юж. науч. центр. – Ростов н/Д. : Изд-во Южного науч. центра РАН, 2008. – 222 с. : ил. Шифр РНБ: 2009-3/9331
9. Перспективы применения наноструктурированных полимерных и нанокомпозитных пленок на основе поли-п-ксилилена для микро-, опто- и наноэлектроники / А. В. Гусев, К. А. Маилян, А. В. Пебалк и др. // Радиотехника и электроника. – 2009. – Т. 54, № 7. – С. 875-886.
10. Процессы формирования сегнетоэлектрических запоминающих устройств FRAM // К.А. Воротилов, В.А. Васильев, А.С. Сигов и др. // Материалы VI Междунар. науч.-техн. конф. МИРЭА INTERMATIC-2008. – М., 2008. – С. 29-36. – Библиогр.: 25 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.conf.mirea.ru/CD2008/pdf/i/4.pdf (18.02.16)
11. Савинский Н. Г. Полимерная электроника / Н. Г. Савинский, М. Л. Гитлин // Полимерные композиционные материалы и покрытия : материалы 3 Междунар. науч.-техн. конф. – Ярославль, 2008. – С. 475-479.
12. Сарач О. Б. Тонкие пленки : учеб. пособие / О. Б. Сарач ; Моск. энергет. ин-т (техн. ун-т). – М. : Изд. дом МЭИ, 2006. – 35 с. : ил. Шифр РНБ: 2007-4/2599
13. Сегнетоэлектрические тонкопленочные запоминающие устройства / Т. В. Рассыпнова // Университетское образование «МКОУ-2013» : сб. ст. 17 Междунар. науч.-метод. конф. – Пенза, 2013 : посвящается 70-летию образования ПГУ. – 2013. – Вып. 17. – С. 463-465. – Библиогр.: 5 назв.
14. Шубин Н.Е. От микроэлектроники к функциональной полимерной наноэлектронике : учеб. пособие / Н.Е. Шубин. – Владикавказ : Северо-Кавказский горно-металлургический ин-т (гос. технол. ун-т), 2013. – 179 с. : ил. – Библиогр.: 75 назв. Шифр РНБ: 2014-3/18489

Здравствуйте! Ваш запрос требует углубленной проработки, что в рамках ВСС не представляется возможным. Предлагаем выборочный список литературы (источники – ЭК РНБ, Каталог НТЛ ВИНИТИ, Научная электронная библиотека E-LIBRARY, поисковая система Google Академия):
1. Анализ современного состояния и перспектив развития приборов звездной ориентации семейства БОКЗ / Г. А. Аванесов, Р. В. Бессонов, А. А. Форш, М. И. Куделин // Изв. вузов. Приборостроение. – 2015. – Т. 58, № 1. – С. 3-13.
Обоснование целесообразности включения в состав звездных приборов ориентации трехосных датчиков угловой скорости на основе технологий МЭМС.
2. Бекмачев А. Инерциальные МЭМС-датчики и модули европейских производителей. Обзор новинок // Электроника: Наука, технология, бизнес. – 2014. – № 2. – С. 38-49.
3. Волков В. Л. Обработка информации в системе ориентации на основе МЭМС / В.Л. Волков, Н.В. Жидкова // Тр. Нижегор. гос. техн. ун-та. – 2015. – № 3. – С. 279-286. – Библиогр. : 10 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.nntu.ru/trudy/2015/03/279-286.pdf (21.12.15)
4. Вопросы разработки инерциальных пешеходных навигационных систем на основе МЭМС-датчиков / П. С. Маринушкин, В. А. Бахтина, И. А. Подшивалов, О. В. Стукач // Наука и образование : [сетевое науч. изд.]. – 2015. – № 6. – С. 157-173. – URL: http://rus.neicon.ru:8080/xmlui/bitstream/handle/123456789/17610/SE-BMSTU_Jun2015_157to173.pdf?sequence=1 (21.12.15)
5. Голощапов А. Применение МЭМС-технологии в навигации // Компоненты и технологии. – 2014. – № 4. – С. 65-69.
6. Состояние и перспективы создания полупроводниковых микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / В. А. Васильев, С. А. Москалев, И. В. Ползунов, В. А. Шокоров // Метрология. – 2014. – № 11. – С. 15-24.
7. Сторожев В. В. Системотехника и мехатроника технологических машин и оборудования / В. В. Сторожев, Н. А. Феоктистов. – М. : Издательско-торговая корпорация "Дашков и К°", 2015. – 412 с. : ил. – Библиогр. : 94 назв. Шифр РНБ: 2014-5/8329
8. Куликов К. В. Микроэлектромеханические устройства систем связи : учеб. пособие / К. В. Куликов, В. Н. Ланцов ; Владимир. гос. ун-т. – Владимир : Изд-во ВлГУ, 2014. – 93 с. : ил. – Библиогр.: 22 назв. Шифр РНБ: 2014-4/10412
9. Международный форум "МЭМС сегодня и завтра" // Электрон. компоненты. – 2014. – № 7. – С. 10-11.
10. Парфенов Н. М. Исследование и разработка интегральных МЭМС-преобразователей механических величин / Н. М. Парфенов, С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков // Нано- и микросистем. техн. – 2015. – № 5. – С. 49-54.
11. Петропавловский Ю. Эволюция МЭМС-продуктов компании Аnalog Devices и современные инерциальные измерительные модули ISENSOR // Компоненты и технологии. – 2015. – № 5. – С. 24-30. – Библиогр.: 8 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://elibrary.ru/download/93786904.pdf (21.12.15). – Доступ к полному тексту статьи при условии регистрации.
12. Полупроводниковые микроэлектромеханические системы современных и перспективных датчиков давления / В. А. Васильев, С. А. Москалев, И. В. Ползунов, В. А. Шокоров // Нано- и микросистем. техника. – 2014. – № 11. – С. 37-43.
13. Проектирование микроэлектромеханических систем и разработка вычислительных технологий в рамках проекта PRECISE / П. А. Широков, А. Е. Новиков, Г. Ф. Реш и др. // Полет. – 2015. – № 5. – С. 50-57. – Библиогр. : 10 назв.
Результаты научно-технических работ в области микроэлектромеханических и нанотехнологий, выполненных участниками созданного международного консорциума по проекту PRECISE (www.mcps-precise.com) в рамках седьмой Рамочной программы Европейского Союза (FP7/2007-2013).
14. Узлы и компоненты микроэлектронных датчиков / К. А. Ожикенов, П. Г.
Михайлов, А. О. Касимов, А. У. Аналиева // Изв. ЮФУ. Техн. науки. – 2015. – № 3. – С. 184-192. – Библиогр.: 25 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://cyberleninka.ru/article/n/uzly-i-komponenty-mikroelektronnyh-datchikov (21.12.15)
15. Урманов Д. М. Концепция развития производства МЭМС-изделий в России на период до 2017 г. // Датчики и системы. –¬ 2012. – № 9. – С. 65-70.
Подбор литературы по определенной тематике Вы можете заказать в Информационно-сервисном центре РНБ (открыть ссылку). Услуги предоставляются на платной основе.

Здравствуйте. Предлагаем следующую литературу для работы над темой (источники – ЭК РНБ, ЭК НТЛ ВИНИТИ, ИПС Google, НЭБ eLibrary):
1. Балыкин В. И. Нанолитография методами атомной оптики / В. И. Балыкин, П. Н. Мелентьев // Рос. нанотехнологии. – 2009. – Т. 4, № 7/8. – C. 68-86.
2. Бокарев В. Контактная литография в нанотехнологии / В. Бокарев, Е. Горнев // Наноиндустрия. – 2010. – № 5. – C. 22-25.
3. Возможность применения процессов ионно-электронной эмиссии в микро- и нанолитографии / В. А. Жабрев, А. И. Мамыкин, В. И. Марголин и др. // Ориентированные фундаментальные исследования – Федеральные целевые программы, наукоемкое производство : сб. науч. тр. – М., 2007. – C. 156-159.
4. Зуев С. Ю. Лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения для проекционной нанолитографии / С. Ю. Зуев, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко // Изв. РАН. Сер. физ. – 2013. – Т. 77, № 1. – C. 9-13.
4. Ирха В. А. Методика нанесения нанолитографического рисунка методом электронно-стимулированного осаждения / В. А. Ирха, В. Н. Лозовский // Микроэлектронные информационно-управляющие системы и комплексы : сб. ст. Всерос. науч. шк. – Новочеркасск, 2011. – C. 116-119. – Библиогр.: 3 назв.
5. Исследование режимов фотонно-стимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана / О. А. Агеев, Б. Г. Коноплев, В. В. Поляков и др. // Нано- и микросистем. техника. – 2008. – № 1. – C. 14-16.
6. Макаров Г. Н. Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии // Успехи физ. наук. – 2013. – Т. 183, № 7. – C. 673-718. – Библиогр.: 529 назв.
7. Салащнко Н. Н. Коротковолновая проекционная нанолитография / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Вестн. РАН. – 2008. – Т. 78, № 5. – C. 450-457.
8. Сейсян Р. П. Нанолитография в микроэлектронике. Обзор. // Журн. техн. физики. – 2011. – Т. 81, № 8. – C. 1-14.
9. Сейсян Р. Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном ультрафиолете. Обзор. // Журн. техн. физики. – 2005. – Т. 75, № 5. – C. 1-13. – Библиогр.: 20 назв.
10. Смирнов В. А. Применение зондовой нанолитографии для формирования элементов наноэлектроники методом локального анодного окисления пленки титана // Изв. ЮФУ. Техн. науки. – 2014. – № 9. – C. 15-24.
11. Стеклообразная наноструктура, изготовленная методом лазерной нанолитографии / И. И. Шишкин, К. Б. Самусоев, М. В. Рыбин и др. // Физика твердого тела. – 2012. – Т. 54, № 10. – C. 1852-1857. – Библиогр.: 36 назв.
12. Цветков Ю. Б. Микро- и нанолитография: сущность и основные этапы процесса. Модуль 4. Ч. I. // Наноинженерия. – 2013. – № 11. – C. 39-47.
13. Controlled deterministic implantation by nanostencil lithography at the limit of ion-aperture straggling / A. D. C. Alves, J. Newnham, J. A. van Donkelaar et al. // Nanotechnology. – 2013. – Vol. 24, N 14. – P. 145304.
Управляемая детерминистическая имплантация с применением ионной нанолитографии с предельным разрешением.
14. Liu Zhao-Wei. Surface plasmon interference nanolithography. / Liu Zhao-Wei, Wei Qi-Huo, Zhang Xiang. // Nano lett. – 2005. – Vol. 5, N 5. – P. 957-961.
Поверхностно-плазмонная интерференционная нанолитография.
15. Plasmonic nanolithography / W. Srituravanich, N. Fang, Sun Cheng et al. // Nano lett. – 2004. – Vol. 4, N 6. – P. 1085-1088.
Плазмонная нанолитография.
16. Weeks B. L. Effect of dissolution kinetics on feature size in dip-pen nanolithography. / B. L. Weeks, A. Noy, A. E. Miller et al. // Phys. rev. lett.. –2002. – Vol. 88, N 25, pt. 1. – P. 255505(4). – Bibliogr: 19 ref.
Влияние кинетики растворения на характерные размеры в "дип-пен"-нанолитографии.
Рекомендуем также провести самостоятельный поиск статей в архиве журнала “Российские нанотехнологии “ (открыть ссылку).

Здравствуйте! Предлагаем Вам выборочный список литературы для начала работы над темой (Источники – ЭК РНБ, Каталог НТЛ ВИНИТИ, БД АРБИКОН, БД библиографических изданий России на сайте EastView , поисковая система Google Академия):
1. Ахметжанов А.А. Следящие системы и регуляторы : учеб. пособие для вузов. – М. : Энергоатомиздат, 1986. – 289 с. : ил. – Библиогр.: 44 назв. – Алф. указ.: с. 285. Шифры РНБ: Нз З965.8/А-954 ; Т1 З965/А-954 ; 86-3/628
2. Булгаков В. В. Сравнительный анализ формализованных методов синтеза регулятора для следящей системы / В. В. Булгаков, В. С. Кулабухов // Приборы. – 2013. – № 1. – С. 39-44. – Библиогр.: 4 назв.
3. Иванчура В. И. Модель следящей системы автоматического управления с нечетким регулятором / В. И. Иванчура, А. П. Прокопьев, Р. Т. Емельянов // Вестн. Сиб. гос. аэрокосм. ун-та. – 2012. – № 3. – С. 15-20. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.vestnik.sibsau.ru/images/M_images/article-pdf/2012-%203%2843%29.pdf (06.06.15)
4. Кириллов А. А. Разработка следящей системы для цифрового регулятора напряжения, построенного на основе секционированного трансформатора / А. А. Кириллов, А. В. Юдин // Электротехн. комплексы и системы упр. – 2013. – № 2. – С. 28-33. – Библиогр: 4 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.v-itc.ru/electrotech/2013/02/pdf/2013-02-06.pdf (06.06.15)
5. Коваль В. А. Синтез дискретных регуляторов пониженной размерности для распределенной следящей системы / В. А. Коваль, О. Ю. Торгашова // Автоматика и телемеханика. – 2011. – № 10. – С. 72-85. – Библиогр.: 16 назв.
6. Лернер А.Я. Принципы построения быстродействующих следящих систем и регуляторов. – М. ; Л. : Госэнергоиздат, 1961. – 151 с. : ил. – (Библиотека по автоматике ; вып. 25). – Библиогр.: 11 назв. Шифр РНБ: 61-3/1218
7. Меркулов В. И. Синтез адаптивного регулятора для радиоэлектронных следящих систем / В. И. Меркулов, В. П. Харьков // Радиотехника. – 2007. – № 1. – С. 33 – 38.
8. Нефедов Д. В. Регуляторы следящих систем как основа управления подвижных образцов роботизированных комплексов // Науч. проблемы транспорта Сибири и Дальнего Востока. – 2010. – № 1. – С. 205-209. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.nsawt.ru/academy/izdatelstvo.html (06.06.15)
9. Сабинин Ю. А. Позиционные и следящие электромеханические системы : учеб. пособие для вузов / Ю. А. Сабинин. – СПб. : Энергоатомиздат, С.-Петерб. отд-ние, 2001. – 207 с. : ил. – Библиогр.: с. 203-205 Шифр РНБ: 2002-3/2011
10. Синтез и анализ регуляторов дискретно-непрерывных систем автоматического управления следящими приводами / А. С. Щерба, Н. М. Петров, В. В. Романов, В. Т. Трусилов // Сборник докладов 19 Научно-технической конференции аспирантов и молодых специалистов. – Жуковский, 2008. – С. 250-259.
11. Синтез нечеткого регулятора для рулевой следящей системы / В. М. Никифоров, К. А. Андреев, А.А. Гусев и др. // Труды ФГУП "НПЦАП". Системы и приборы управления. – 2013. – № 1. – С. 11-25.
12. Соустин Б.П. Цифровые следящие системы и регуляторы : учеб. пособие. – Красноярск : КПИ, 1982. – 125 с. : ил. – Библиогр.: 7 назв. Шифр РНБ: 84-3/7689
13. Усольцев А. А. Нечеткий регулятор в системе управления следящим электроприводом с ограничением по скорости / А. А. Усольцев, Н. А. Смирнов // Вестн. Иванов. гос. энергет. ун-та. – 2011. – № 3. – С. 27-32 ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://vestnik.ispu.ru/sites/vestnik.ispu.ru/files/publications/27-32_1.pdf (06.06.15)
14. Черный С. П. Моделирование следящей системы управления с применением многокаскадного нечеткого регулятора / С. П. Черный, И. Е. Бичаев // Электротехн. комплексы и системы упр. – 2014. – № 1. – С. 47-54. – Библиогр.: 4 назв. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.v-itc.ru/electrotech/2014/01/pdf/2014-01-11.pdf (06.06.15)
Являясь жителем Петербурга, Вы можете обратиться за дополнительной информацией к библиографам РНБ.

Здравствуйте. Предлагаем следующую литературу для начала работы над темой (источники – ЭК РНБ, ЭК НТЛ ВИНИТИ, ИПС Google):
1. Каллан Р. Основные концепции нейронных сетей / Р. Каллан ; [пер. с англ. и ред. А. Г. Сивака]. – М. : Вильямс, 2003. – 287 с. – (Основы вычислительных систем). – Библиогр.: с. 281-284.
2. Колбин И. С. Разработка системы нейросетевого моделирования // Информ. и телекоммуникац. технологии. – 2012. – № 14. – C. 83-86. – Библиогр.: 6 назв.
3. Круглов В. В. Искусственные нейронные сети. Теория и практика / В. В. Круглов, В. В. Борисов. – М. : Горячая линия-Телеком Грааль, 2001. – 382 с. : ил. – Библиогр.: с. 377-378.
4. Нетышко В. Б. Об одном методе построения двухслойной нейросети // Обозрение прикл. и пром. математики. – 2005. – Т. 12, № 3. – C. 672-673. – Библиогр.: 3 назв.
5. Неудахин А. В. Разработка автоматизированного программного комплекса для построения нейросетевых экспертных систем // Современные проблемы информатизации в проектировании и информационных системах : сб. тр. Междунар. науч. конф. – Воронеж, 2009. – Вып. 14. Проектирование и информационные системы. – C. 518-519.
6. Панфилов Д. С. Разработка комплексированных нейросетей и исследование возможностей их применения для решения прикладных задач: автореф. дис. … канд. техн. наук / Панфилов Д. С. ; Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. – Таганрог, 2002. – 20 с. : ил. – Библиогр.: 11 назв.
7. Романов А. А. Графический процессор – основа для построения нейросетей с массовым параллелизмом // Инновационные научно-технические разработки и направления их развития (Инновация – 2010) : сб.материалов семинара. – Курск, 2010. – C. 102-106. – Библиогр.: 4 назв.
8. Рутковская Д. Нейронные сети, генетические алгоритмы и нечеткие системы / Д. Рутковская, М. Пилиньский, Л. Рутковский ; пер. с пол. И. Д. Рудинского. – М. : Горячая линия-Телеком, 2006. – 383 с. : ил. – Библиогр. в конце гл.
9. Солодовников И. В. Использование баз данных для построения нейросетевых моделей / И. В. Солодовников, В. И. Солодовников // Аэрокосмические технологии : тр. Всерос. науч.-техн. конф. – Реутов, 2002. – C. 256-258.
10. Тархов Д. А. Нейронные сети: модели и алгоритмы / Д. А. Тархов. – М. : Радиотехника, 2005. – 253 с. : ил. – (Научная серия "Нейрокомпьютеры и их применение" / ред. А. И. Галушкин ; Кн. 18). – Библиогр.: 91 назв.
11. Тимошенков А. С. Препроцессинг, построение и выбор оптимальных нейросетевых моделей в прогнозировании временных рядов / А. С. Тимошенков, Л. Н. Ясницкий // Автоматизация и соврем. технол. – 2010. – № 6. – C. 16-22.
12. Хайкин С. Нейронные сети : полный курс / С. Хайкин ; [пер. с англ. Н. Н. Куссуль, А. Ю. Шелестова]. – Изд. 2-е, испр. – М. и др. : Вильямс, 2008. – 1103 с. : ил. – Библиогр.: 1183 назв.
13. Шанин Д. А. Построение нейросетевых регуляторов для синтеза адаптивных систем управления / Д. А. Шанин, В. Х. Пшихопов, М. Ю. Медведев // Информ.-измер. и упр. системы. – 2008. – Т. 6, № 3. – C. 48-52.
14. Элементарное введение в технологию нейронных сетей с примерами программ / Р. Тадеусевич, Б. Боровик, Т. Гончаж и др. ; [пер. с пол. И. Д. Рудинского]. – М. : Горячая линия – Телеком, 2011. – 408 с. : ил. – Библиогр.: 42 назв.
Рекомендуем также провести самостоятельный поиск статей в архивах журналов: “Нейрокомпьютеры: разработка, применение” (открыть ссылку), “Искусственный интеллект и принятие решений” (открыть ссылку).

Здравствуйте. Предлагаем следующие издания (источник БД НТЛ ВИНИТИ,e-Library,ПС Google) для начала работы над темой.
1. Поведение керамических DBC-субстратов при повреждении: иллюстрация дефектов, характеристики и факторы влияния / М. Гюнтер, М. Риттнер, В. Нюхтер и др. // Технологии в электрон. пром-сти. – 2008. – № 7. – С. 56-59.
2. Разработка технологии изготовления металлизированных подложек для изделий силовой электроники / Ю. Непочатов, Г. Дейс, А. Богаев и др. // Соврем. электроника. – 2010. – № 9. – С. 12-15: ил. – Библиогр. : 8 назв.
3. Ball A. H. Thermal and electrical considerations for the design of highly-integrated point-of-load converters : dissertation submitted to the faculty of the Virginia Polytechnic Institute and State University in partial fulfillment of the requirements for the degree of Doctor of Philosophy in Electrical and Computer Engineering. – Blacksburg, Virginia, 2008. – 292 p. : il. – Bibliogr.: 134 ref. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://scholar.lib.vt.edu/theses/available/etd-04172009-174047/unrestricted/ArthurETDrev2.pdf (02.04.2014)
4. Camilleri D. Thermo-mechanical behaviour of DBC substrate assemblies subject to soldering fabrication processes // Solder. a. surface mount technol. – 2012. – Vol. 24, N 2. – P. 100-111. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.emeraldinsight.com/journals.htm?articleid=17026270 (02.04.2014)
5. Heat pipe integrated in direct bonded copper (DBC) technology for cooling of power electronics packaging. / M. Ivanova, Y Avenas, C. Schaeffer et al. // Power Electronics, IEEE Transactions. – 2006. – Vol. 21, N 6. – P. 1541-1547 ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs_all.jsp?arnumber=4012144&tag=1 (02.04.2014)
6. Schulz-Harder J. Advanced DBC (direct bonded copper) substrates for high power and high voltage electronics // Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium, IEEE Twenty-Second Annual. – IEEE, 2006. – P. 230-231. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=1625233 (02.04.2014)
7. Schulz-Harder J. Advantages and new development of direct bonded copper substrates // Microelectronics Reliability. – 2003. – Vol.43, N 3. – С. 359-365. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0026271402003438 (02.04.2014)